Kobaltetroxid in der Halbleiterindustrie

Cobaltetroxid ist eine anorganische Verbindung mit der chemischen Formel Co₃O₄ und liegt als schwarzes oder grauschwarzes Pulver vor. Die Schüttdichte beträgt 0,5–1,5 g/cm³, die Stampfdichte 2,0–3,0 g/cm³. Cobaltetroxid löst sich langsam in heißer Schwefelsäure, ist jedoch bei Raumtemperatur in Wasser, Salpetersäure und Salzsäure unlöslich. Bei Erhitzung über 1200 °C zersetzt es sich zu Cobalt(II)-oxid. Wird es in einer Wasserstoffflamme auf 900 °C erhitzt, reduziert es sich zu metallischem Cobalt.